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  •         氦氖激光器主要由放电管(既充有工作物质氦气氖气的玻璃管及电极)、输出镜及全反镜(既光学谐振腔)、电源(既激励装置)三部分组成。但在实际中把它们做成激光器(放电管、输出镜及全反镜)与电源两部分。氦氖激光器按放电管与输出镜、全反镜连接方式的不同可分为内腔式氦氖激光器、外腔式氦氖激光器及半外腔式氦氖激光器三种。氦氖激光电源从电路上可分为倍压整流电源、变压器电源和开关电源三种。
      
    内腔式氦氖激光管(器)的输出镜 、全反镜直接封接在放电管两端外侧的玻璃外套管上(见图一),按其封接方式的不同可分为软封接、硬封接、高温封接三种内腔式氦氖激光管。

      软封接内腔式氦氖激光管,是将其玻璃外套管两端磨成相互平行,用粘合剂将输出镜、全反镜粘贴在其玻璃外套管两端。通常粘合剂是用普通环氧树脂,其寿命在一年左右 (因普通环氧树脂老化而使激光管漏气)。此种工艺已淘汰。

        硬封接内腔式氦氖激光管,是在玻璃外套管两端接上与玻璃膨胀系数相同的可伐材料接头,用低温玻璃粉将输出镜、全反镜粘贴在可伐接头上,调节可伐接头上的螺丝,使输出镜、全反镜相互平行 与放电管垂直。

        高温封接内腔式氦氖激光管,其输出镜、全反镜采用与玻璃外套管相同膨胀系数的玻璃材料,用高温将输出镜、全反镜封接在其玻璃外套管的两端,用高温小火煨烤玻璃外套管两端,调整输出镜、全反镜平行度,使其相互平行与放电管垂直。

        国产的内腔式氦氖激光管腔长在100mm1000mm之间,输出功率在0.3mW40mW之间。通常单模(TEM00)、输出功率稳定性在10﹪之内的内腔氦氖激光管腔长做到250毫米左右,输出功率2mW左右。腔长大于250毫米、输出功率稳定性在10﹪之内的内腔式氦氖激光管都为多模输出。

        内腔式氦氖激光器优点是使用时谐振腔不用调节,价格低,使用方便。缺点是单模输出激光功率低。根据激光管与激光电源是否安装在一起,同一规格的内腔氦氖激光器可分为二种型号,一种是将激光管与激光电源一起安装在金属或塑料或有机玻璃的外壳内。另一种是激光管安装在圆型(铝或塑料或不锈钢)筒内,激光电源安装在金属或塑料外壳内,激光管与激光电源用高压线连接。

    二、外腔式氦氖激光器

        外腔式氦氖激光器的输出镜、全反镜安装在谐振腔调节架上,谐振腔调节架安装在激光器支架两端,放电管(激光管)安装在谐振腔调节架之间的激光器支架上(见图二)。激光器支架安装在外壳内,外壳上下都开有散热孔。

      外腔式氦氖激光器的放电管两端被磨成一特殊角度(布鲁斯特角),用两块石英玻璃密封, 两块石英玻璃称为布氏窗。布氏窗(角)使输出激光成线偏振光。放电管小于400mm的做成的放电管与阴极同轴式结构(见图三),同轴式外腔氦氖激光器放电管为非常规产品,通常是为一些有特殊需要的用户而定做的

      国产的外腔式氦氖激光器常规产品放电管长度在400mm2000mm之间,输出功率在8mW150mW之间,外腔式氦氖激光器优点是单模、线偏震输出、激光功率大、输出功率稳定性高。缺点是结构复杂,成本高。价格高。
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